単位/用語集 - タンク 表面処理 - その他2
精密洗浄
一般洗浄と対比して精密洗浄と言う場合は、人間の感覚外の精度まで洗浄効果を追求する場合に用いられている。すなわち、精密洗浄の分野はいわば目に見えないミクロン、サブミクロン単位の汚れを問題にするもので、半導体洗浄の場合が典型例である。
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一般洗浄と対比して精密洗浄と言う場合は、人間の感覚外の精度まで洗浄効果を追求する場合に用いられている。すなわち、精密洗浄の分野はいわば目に見えないミクロン、サブミクロン単位の汚れを問題にするもので、半導体洗浄の場合が典型例である。
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